等离子体发生器
上升AMS系列
为极端电弧条件和高重复性胶片提供稳定的电源
188bet在线Advanced Energy的前端直流发电机提供双磁控溅射应用所需的性能和可靠性。
- arc是主动管理的，而不是一般的预设arc响应
- 每1千瓦输出能量小于0.4兆焦耳
- 通过电弧条件的稳定、可重复的过程
- 用于大功率应用的主/辅
- 更高的能量等级，减少电弧伤害
- 概述
- 技术规格
- 文件
- 服务与支持
概述
随着制造技术的进步，新材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜重复性提出了更大的挑战。上升®AMS电源提供稳定的，可重复的电源，无论工艺材料或阴极设计。AMS提供先进的电弧管理，允许最大的功率交付和更快的恢复处理。极快的恢复也意味着极低的能量通过电弧传递，防止基片损坏。
对于高功率应用，Ascent AMS可用于主/次配置。常见的应用包括超过100千瓦的输出配置。然而，结合水/空气冷却设计保持发电机的足迹到最小。
利益
- 获得高的薄膜质量和产量
- 减少薄膜、基板和设备损坏
- 在极端电弧条件下实现稳定的吞吐量和功率输送
- 易于集成和控制
特征
- 电弧管理系统™ （AMS）技术.金属和陶瓷靶的客户预设
- 设定点补偿™ 技术
- 电弧同步®技术-一级/二级多达12台
- 以太网,EtherCAT®，DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太网/IP和模拟通信
交流输入电压
400,440和480vac
输出功率
- 30、40和60千瓦
- 主/辅助配置可用于更高功率
点火电压
800 ~ 1200v
输出电压
30千瓦
300至1000 VDC
40千瓦
333至1000 VDC
60千瓦(120)
500至1000 VDC
60千瓦（150安）
400至800 VDC
可用I/O
以太网,EtherCAT®，DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太网/IP和模拟通信
安装
48.26厘米（19英寸），可机架安装，6U高
冷却
气水结合
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188bet在线Advanced Energy不对错误或遗漏负责。
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，提供世界级的支持，最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加快工具安装和工艺开发计划，或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188bet在线
保证
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188bet在线