- 概述
- 技术规范
- 文件
- 服务支持
概述
solvix.® DC and pulsed-DC power supplies for sputtering applications offer precise accuracy and proven repeatability thanks to more than a decade in the field. With a wide range of power and frequency levels, pulsing, and multiple communications options, Solvix power supplies provide a rugged and cost-effective solution for your unique process.
好处
- 经过验证的可靠性，准确性和可重复性
- 降低基板损伤和过程污染
- 适应广泛的过程要求
- 高效的安装和服务
- 全球支持网络
特征
- DC和PULSED-DC单位
- 出色的弧形处理
- 电流，电源和电压调节模式
- 空气和水冷
- 可配置多个单元，以满足不同的高功率要求
力量
DC.
3,10,15和30 kW
脉冲直流
3至30千瓦
频率
偏见单位
高达350 kHz
其他
冷却
空气（一些更高的动力模型上提供水冷却）
沟通
模拟（RS-232/485和Profibus提供）
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都可以使用所有选项和附件。列出的尺寸通常仅指标准配置和模块主体。请确认具有销售代表的技术规格和自定义。188bet在线先进的能量不对错误或遗漏负责。
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，通过世界一流的支持，最大限度地提高工厂生产率和资本设备投资回报率。我们的服务产品基于三十多年的精密电源和应用专业知识。
应用程序支持和咨询
加速工具装置和流程开发计划，或解决具有先进能源专用应用顾问和工程人员的特定应用程序。188bet在线受益于现场评论，分析和咨询。
保证书
降低维护成本的可变性并提供额外的成本保护。188bet在线先进的能量提供全箱延长保修。