等离子体发电机

提升AP系列

史无前例的单、双磁控溅射功率控制

使用经过现场验证的双极直流脉冲技术,达到新的工艺性能水平。

  • 先进的波形控制允许过程微调
  • 可用于双脉冲和单脉冲磁控溅射应用
  • 紧凑的设计包括直流和脉冲
  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持

概述

提升®AP电源提供了一个紧凑的解决方案,为单磁控管和双磁控管溅射提供了前所未有的等离子体控制。188bet在线先进能源的专利脉冲技术可以显著防止电弧,更高的功率水平,并增加吞吐量。Ascent AP的综合控制参数和广泛的操作范围解锁了材料选项,扩展了工艺灵活性和材料创新。

好处

  • 电介质和导电薄膜的精密溅射
  • 扩展的过程控制和灵活性
  • 高胶片质量和产量
  • 可重复的、可定制的电影
  • 更高的能量等级,减少电弧伤害
  • 易于集成和控制

特性

  • 工艺定制与广泛的功率输送参数
  • 通过分层方法进行先进的流程管理,以减少电弧
  • 紧凑的单机解决方案(最高可达30千瓦)
  • 设置点补偿™技术,稳定的吞吐量
  • 广泛的操作范围,以实现各种工艺材料
  • 权力

    提升短信

    30kw (15kw)

    提升DMS

    30kw (15kw)

  • 电压

    提升短信

    1000 VDC

    提升DMS

    1000 VDC

  • 峰值电流

    提升短信

    100 a (50 a)

    提升DMS

    N/A

  • 平均电流

    提升短信

    75 a (38 a)

    提升DMS

    80 a (40 a)

  • 频率

    提升短信

    0.5至150千赫

    提升DMS

    0.5至150千赫

  • 反向时间(max)

    提升短信

    µ15秒

    提升DMS

    N/A

  • 工作周期

    提升短信

    > 60% ON time

    提升DMS

    5%到95%

  • 反向电压

    提升短信

    300 VDC马克斯

    提升DMS

    N/A

  • 脉冲配置

    提升短信

    单极

    提升DMS

    双相

规格如有更改,恕不另行通知。并不是所有的选项和配件都可用于所有型号和配置。所列尺寸一般只参考标准配置和模块主体。请与销售代表确认技术规格和定制。188bet在线先进能源不负责错误或遗漏。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加速工具安装和工艺开发计划,或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188bet在线从现场审查、分析和咨询中获益。

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。188bet在线Advanced Energy提供全箱延长保修期。

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美国:+1 800 446 9167
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