等离子体发电机
顶峰+ +
脉冲直流单磁控反应溅射薄膜的工艺验证
Pinnacle Plus+发生器在脉冲配置中提供直流电源，使反应溅射极其均匀，高质量的介质薄膜。
- 在反向脉冲期间电荷清除防止电弧发展
- 通过频率和占空比控制可调过程
- 紧凑的风冷设计，可在一次/二次配置中扩展
- 概述
- 技术规格
- 文档
- 服务与支持
概述
188bet在线先进能源 顶峰® Plus+电源为无功流程提供了脉冲直流解决方案的所有优势，易于集成，提高了流程效率，降低了成本，并提供了卓越的灵活性和灵活性。与复杂而昂贵的交流电源解决方案相比，Pinnacle Plus+电源结合了标准直流技术和我们的脉冲直流专利技术，提供更高的沉积速率、更可重复的性能和卓越的薄膜质量。
好处
- 更高的沉积率和收率
- 优良的膜均匀性和质量
- 减少电弧损坏
- 卓越的流程灵活性和纬度
- 可重复的性能
特性
- 可调频率范围5至350 kHz
- 可变占空比高达45%
- 宽电压范围-单抽头宽阻抗范围
- 优越的弧控制
- 双产量可用于多腔生产
权力
单输出
1.5 kW HALO(高精度、低输出)、5 kW(单、双输出机型)、10 kW
双输出
5/5千瓦，独立控制
电压
最大可达800 VDC，宽电压范围(无插孔)
频率
从0 Hz (DC)可调到350 kHz
可重复性
额定功率+/- 0.1%
精度
设定值的+/- 1%或满额定功率的+/- 0.2%(以较大的为准)
通信接口
模拟、RS-232/485现场总线
交流输入
208,400和480 VAC型号可用
规格如有更改，恕不另行通知。并不是所有的选项和配件都可用于所有型号和配置。所列尺寸一般只参考标准配置和模块主体。请与销售代表确认技术规格和定制。188bet在线先进能源不负责错误或遗漏。
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，提供世界级的支持，最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加速工具安装和工艺开发计划，或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188bet在线从现场审查、分析和咨询中获益。
保证
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。188bet在线Advanced Energy提供全箱延长保修期。