等离子体发生器
导航器II FCi
灵活、精确的电源传输，适用于要求极高的高速匹配应用
188bet在线Advanced Energy的Navigator II FCi通过精确的电源传输和调谐实现了改进的过程控制。高速匹配网络针对关键、功率敏感、短时等离子体处理步骤进行了优化。传统上由基于真空电容器的匹配网络处理的更长的步骤和宽的调谐范围也得到了支持。通过高速调谐，Navigator II FCi提供了许多过程控制增强功能。
- 缩短等离子体稳定时间
- 工艺配方转换之间无血浆脱落
- 概述
- 技术规格
- 文件
- 服务与支持
概述
领航员®IIFCI是一个独立的、微处理器控制的阻抗匹配网络。匹配网络包括由离散固态开关电容阵列调整的调谐元件，其驱动因素是需要在更宽的阻抗范围内实现快速、准确的调谐。与传统匹配网络的形式、占地面积和调谐范围类似，这些匹配提供毫秒范围内的调谐时间，而传统匹配网络的典型调谐时间为1秒。这种高速匹配技术经过优化，适用于关键、功率敏感、短时等离子体工艺步骤，如原子层蚀刻（ALE）。
当配置为全量程调谐时，导航器FCi可以覆盖与真空电容器匹配相同的阻抗空间。固态电路的紧凑性允许匹配在与传统版本相似的占地面积内。这种火柴没有移动的机械部件，消除了传统火柴固有的磨损和漂移机制。这使得在一系列具有挑战性且不断变化的等离子体工艺上具有更高的可靠性和可重复性。
利益
- 在宽阻抗范围内实现快速、准确的调谐
- 提高可靠性和可重复性
- 减少电源传输中断和等离子体“闪烁”
- 将技术用于短流程步骤，如ALE应用
特征
- 13.56兆赫
- 连续波和脉冲操作
- 输出测量传感器
- 风冷
输出电压
最大1200 Vrms
1000 VDC最大直流偏置电压
输出电流
最大有效值35 A
频率
13.56兆赫
射频功率输入
交付的最大功率为1500 W
最大反射功率150 W
反射功率（匹配自动调谐）
5 W或小于正向功率的1%，以较大者为准
线电压
24±10%VDC
线电流
3.5 A最大值
冷却
空气
环境工作空气温度范围
+5至+40°C
小册子
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