等离子体发生器
顶
高功率密度，安装紧凑
当空间有限，但性能至关重要时，流线型Apex射频发生器可提供各种安装选项和您可以依赖的电源。
- 腔室，机架，或框架安装选项，方便和减少功率损失
- 卓越的性能增强了弧管理
- 13.56 MHz频率下的1.5至10 kW输出功率选项
- 概述
- 技术规格
- 文件
- 服务与支持
概述
多才多艺的顶点®射频发生器和电源传输系统系列展示了适用于腔室安装的紧凑、模块化设计。利用先进的射频转换技术，Apex射频发生器和电源传输系统提供了增强的产品和工艺可靠性。高密度电源功能使其成为先进等离子体工艺的理想选择。各种通信模型和可配置功能允许您自定义平台并探索集成方法。无需定制发电机交付周期。
利益
- 随时集成具有增强灵活性的过程工具
- 稳定等离子体操作
- 提高成品率，实现快速电弧管理
- 根据您的流程要求轻松定制和配置
特征
- 高功率密度 流线型设计
- 车载腔室安装、工具架安装、机架安装和鞋盒选件
- 宽带控制回路
- 可选脉冲控制
- 高速电弧管理
功率级
1.5、3和5.5千瓦
频率
13兆赫
可用接口
RS-232，25针模拟，以太网，DeviceNet
交流输入
208年休假
线路频率
50/60 Hz
冷却
水
环境空气温度范围
+5至+40°C
冷却水温度范围
+5至+35°C
高级功能
脉冲
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188bet在线Advanced Energy不对错误或遗漏负责。
全球支持与服务
188bet在线先进的能源提供定期校准您的射频发生器和匹配。相信我们的专家，确保您的精密射频传感器在规格范围内，并确保您的工具以最大的潜力运行。
应用支持与咨询
加快工具安装和工艺开发计划，或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188bet在线
保证
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188bet在线