远程等离子体源

Litmas RPS

远程等离子源和电力输送系统,可减少废气

Litmas是一款集多功能于一体的远程等离子体源,结合了电源LitmasMatch™ 匹配的网络,和等离子室成为一个紧凑的底盘。

  • 小占地面积使用点减排解决方案
  • 高度可靠、有效的减排,且公用设施使用量最少
  • 比有竞争力的解决方案拥有更低的成本
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

利特马斯酒店®远程等离子体源(RPS)系统提供高浓度的反应性气体物种,以实现先进的氟化气体减排。其占地面积小、性能高、易于使用、拥有成本低的解决方案使其成为新安装或改造现有减排系统的明智选择。

利益

  • 产生高反应性物种通量,提供更高的销毁效率
  • 满足监管或绿色倡议目标的蚀刻气体减排解决方案
  • 通过减少沉积过程中的微粒,延长泵的使用寿命
  • 提供快速匹配、稳定的电源传输,实现精确的过程控制
  • 包含一个占地面积小的软件包,易于在现有或新的生产地点安装

特征

  • 消除温室气体排放
  • 提供最高的可用等离子体功率密度
  • 使用耐用的SiO2或Al2O3腔体材料
  • 采用专利LitmasMatch™固态电源传输拓扑
  • 集成电源,火柴,等离子室在一个包
  • 功率输出拓扑

    专利LitmasMatch™固态电源传输拓扑,快速匹配(< 3ms)

  • 腔室材料

    低复合SiO2或Al2O3腔体材料

  • 界面

    • 内置模拟,RS-232,和可选DeviceNet®能力
    • 监视、接口和数据记录选项
    • 可选虚拟前面板(VFP)软件接口包,用于直观、实时控制

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188bet在线Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188bet在线

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模型

Litmas远程电源

LB-3001

Litmas远程电源

LB-4001

等离子体功率范围

100至3000瓦

100至4000瓦

输入电压

180至229伏交流电压,三相

180至229伏交流电压,三相

输入电流

每相最多16安

每相最大20 A

冷却水流量

5.7升/分钟(1.5加仑/分钟)

5.7升/分钟(1.5加仑/分钟)

尺寸

尺寸:348 x 277 x 264 mm

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