远程等离子体源

快牛

氧基过程的理想远程等离子体源

先进能源公司的Rapid OX具有独特的用户可插入和可移动石英腔衬垫,是氧基工艺的最佳选择。188bet在线

  • 理想的光刻胶灰化/碳室清洗:石英衬垫可减少氧的复合,并确保将活性物质有效输送至工艺室
  • 完善性能:6 kW功率,用于解离氧气,具有变频和功率控制
  • 可靠的设计:腔室和可移动插入设计提供更好的可靠性比全石英腔室
  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持
  • 分销商

概述

由于Rapid OX的可拆卸石英衬垫,减少复合效应并延长氧自由基的寿命。与阳极氧化室相比,产生的反应物质延长了寿命,提高了光刻胶剥离率。由于石英衬垫易于安装或拆除,因此减少了停机时间,显著降低了成本这大大降低了更换成本。

好处

  • 通过可移动和可更换的石英腔,显著减少停机时间和拥有成本
  • 由于高离解率和高密度自由基生成,提高了工艺性能
  • 通过变频调谐和精确功率控制确保可重复、可控的过程
  • 可靠的设计和冷却系统,增加了燃烧室的使用寿命,降低了服务成本
  • 提高工具利用率,减少预防性维护,降低CoO

特性

  • 石英衬垫使它成为光刻胶灰化或碳室清洁过程的理想选择
  • 可变频率匹配提供了一系列等离子阻抗操作,通过改变气体化学、压力和功率设置点进行控制
  • 改进的热管理有助于确保长腔室寿命
  • 由于动态压力超调低,快速OX快速点燃并达到稳态运行
  • 等离子体功率范围

    500 ~ 6000w
    在电源阻抗范围内的功率均衡能力

  • 流程应用程序

    用于下游腔室清洁、反应蚀刻工艺和反应沉积工艺的气体远程输送

  • 点火装置

    100 mTorr至1 Torr的氧气和氮气,最高可达4 slm(90%O2和10% N2

  • 化学兼容性

    本装置适用于氩气、氩气、氩气等气体2H2N2F2H2O, NF3.,或2

  • 操作流量,稀释和压力范围

    • 验证的单元操作流量范围是0.2至4 slm的纯O2阿,2含10%N2100米到4米之间
    • 其他气体压力/流量组合也可以,但必须在使用前得到先进能源公司的批准188bet在线
  • 大小

    H x W x D:35.3厘米x 41.5厘米x 39.2厘米
    H x W x D:尺寸(mm x mm x mm)

  • 重量

    37.6公斤(83磅)

  • 射频频率

    250至665千赫

  • 功率精度

    参考等离子体负载+/- 5%或200w,两者以较大为准

  • 运行负荷限制

    操作负载需要在以下操作限制范围内:

    最小功率

    500 W

    最大功率

    6000 W

    最大等离子体电压

    325 Vrms

    最小等离子体电流

    5rms

    最大一次电流

    120年,一个rms

数据表

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