等离子体发电机

上升女士

太阳能光伏制造中多腔功率输送的多输出电源系统

Ascent MS支持在单个单元中多达五个独立的PERC PECVD沉积过程室。这优化了功率输送,实现了独立编程,简化了沉积机设计,帮助您降低资本成本,提高可靠性。

  • 每五个PERC PECVD腔室的单电源系统
  • 每室独立的工艺参数
  • 简化的机器基础设施,以降低成本和更高的可靠性
  • 概述
  • 技术规范
  • 服务支持

概述

上升®MS是一种多输出电源系统,旨在支持PV太阳能电池生产中的PERC PECVD工艺。在单个单元中最多支持五个独立的腔室,Ascent MS允许太阳能光伏设备制造商开发成本效益的系统。从较少的电气和机械基础设施要求中受益于其他可比解决方案。随着快速连接的电源I / O和最小化的互连,电源系统优化电源,同时实现更快的涂布机安装,更高的可靠性和每个涂布机的降低成本。旨在具体满足当今的太阳能光伏市场需求,上升MS可以实现业内最低的系统和基础设施成本。

好处

  • 快速轨道涂布机安装与模块化电源连接器,减少互连,简化基础设施
  • 开发具有较少所需电气和机械基础设施要求的经济高效的系统
  • 在PERC PECVD沉积过程中获得更高的可靠性
  • 简化沉积机设计,单个单位支撑多达五个独立的腔室

特征

  • 单点通信,水,I / O和AC电源输入最多五个腔室
  • 为每个输出独立开/关时间,电弧参数和设定值
  • 每个电源系统最多五个输出
  • 单独启用输出
  • 模块化电源连接器

解决方案

  • 力量

    上升MS15:15 kW.
    提升MS20:20 kW.
    上升MS30:30 kW.

  • 产出

    2到5

  • 输出频率

    40 kHz.

  • 功率脉冲时间

    吨:1到10毫秒
    蒂罗夫:50 ~ 1000毫秒

  • 功率脉冲占空比

    高达10%

  • 沟通

    Profibus, RS-232, Ethernet, EtherCAT

  • 冷却

    水/空气

  • 系统高度

    12U

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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