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使用先进能源远程等离子体源进行腔室清洁188bet在线
在这个视频中，了解如何先进能源的MAXstream188bet在线远程等离子体源(RPS)用于CVD室清洁。MAXstream扩大了AE在工艺功率方面的领先地位，在大范围的流量范围内提供可靠的性能，提高了半导体工艺设备的生产率。
远程等离子体源
MAXstream
用于腔室清洁应用的可靠、高性能远程等离子体源
188bet在线Advanced Energy的MAXstream线是下一代用于腔室清洁的远程等离子体源。MAXstream RPS具有3至12标准升/分钟（SLPM）的流量能力和业界领先的功率精度，为腔室清洁提供了紧凑的解决方案，并具有AE经验证的RPS可靠性和长寿命无故障运行。
- 高可靠性等离子清洗系统，无故障运行
- 专有的高纯铝基材，采用3型阳极氧化处理，使用寿命更长
- 独特的双点火核心设计确保了几乎100%的点火可靠性
- 业界领先的2%功率精度，实现一致、可重复的性能
- 概述
- 技术规格
- 文件
- 服务与支持
- 分销商
概述
188bet在线先进能源公司的MAXstream商标line是用于腔室清洁的下一代远程等离子体源。MAXstream有3、6、8、10和12个SLPM NF版本3.流量率优化价格和性能，并提供了高达60%的功率精度比传统使用的系统。
AE带来了久经考验且与众不同的等离子体源材料和技术，确保了长腔室寿命和低粒子生成。独特的双点火核心设计提供了一流的等离子点火可靠性。MAXstream RPS具有可靠的每次点火都能击中的特点，为RPS维护提供了更一致的操作和更少的停机时间。
MAXstream RPS有助于实现与传统RPS系统的兼容性，简化兼容性设计，并实现无缝现场升级到新的可靠且可重复的解决方案。
利益
- 使客户能够通过多个流程选项优化成本
- 以比Xstream RPS更小的占地面积节省宝贵的工具空间
- 独特的AE双点火芯，几乎实现100%的点火可靠性
- 使用AE专有的3型阳极氧化高纯铝基板，延长腔室寿命
- 使用多达12个SLPM流量功能减少清洁时间
特征
- 五种型号:MAXstream 300用于低流量应用和MAXstream 600, 800, 1000, 1200用于高流量应用
- 高度可靠的RPS最大限度地延长了工具正常运行时间
- 具有传统RPS单元的内置功能，便于设计升级，从而实现更高的性能和可靠性
- 增强等离子体源壁冷却，减少热膨胀和化学侵蚀造成的损害
- 等离子电源的主动监测和控制，实现业界领先的电源精度
等离子体功率范围
300至12000瓦，连续
点火
MAXstream 300
100mtorr至4torr至2slm的Ar, NF中毒<1%3.
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
100 mTorr至4 Torr氩气，最高可达1 SLPM
功率精度
±2%或15 W，以较大者为准
流量范围
MAXstream 300
在10torr时达到3 SLPM
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
30托时高达12 SLM
输入电压
MAXstream 300
187至229伏交流电压，无中性线，三相带PE接地（相位不敏感）
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
200 to 208 VAC±10% (180 to 229 VAC)，无中性，3相带PE接地(相位不敏感)
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，提供世界级的支持，最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加快工具安装和工艺开发计划，或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188bet在线
保证
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。188bet在线Advanced Energy提供全箱延长保修期。
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模型
MAXstream 300
MAXStream 600、800、1000、1200
300至6000瓦
500 ~ 12,000 W
±2%或15 W，以较大者为准
±2%或15 W，以较大者为准
在10torr时达到3 SLPM
在30torr时达到12slpm
100 mTorr至4 Torr至2 SLPM
100 mTorr至4 Torr氩气，最高可达1 SLPM
尺寸(宽x高x深)
尺寸(宽x高x高)