远程等离子体源
Xstream
高品质，室清洁远程等离子体源与无与伦比的性能
Xstream远程等离子体源(RPS)是室内清洁的理想选择。它具有专利的点火方法和算法以及专有的铝合金硬阳极氧化室。
- 经过验证的性能:无与伦比的可靠性和经验证的现场性能
- 独特的点火方法:通过可靠的等离子点火减少刀具停机时间
- 无需昂贵的涂料：定制合金和先进的阳极氧化，确保更长的腔体寿命
- 快速清洗室：高原料气离解率，高效运行
- 概述
- 技术规格
- 文档
- 服务与支持
概述
高效的Xstream®RPS能分解大量的NF3.快速清洁腔室，提高整体工具性能。它的等离子室展示了高纯铝合金和专利冷却能力。Xstream RPS可在无需维修或昂贵的腔室涂层的情况下使用多年，是可靠性和高效性能的明智选择。
好处
- 使用定制铝合金和III型硬质阳极氧化消除昂贵的腔室涂层
- 通过冷却系统，最大限度地减少热应力，提高燃烧室的性能和耐久性
- 利用有源匹配网络提高效率和提高等离子体的功率传递
- 通过实时等离子体测量精确控制能量和过程
- 通过专利点火系统实现可靠和可重复的等离子点火
特性
- 高度可靠的RPS最大化了工具的正常运行时间
- 有效的反应性物质输送至工艺室，以提高性能
- 集成有源匹配网络的变压器耦合等离子体(TCP)源
- 工作频率为225千赫至660千赫
- 8千瓦/10千瓦功率型号
大小
H x W x D:26.7厘米x 25.25厘米x 47.8厘米
H x W x D:10.5英寸x 9.94英寸x 18.82英寸重量
28.7公斤(63.2磅)
交流线路频率
公称50至60赫兹;47至63赫兹范围
交流输入电流
- 额定电流为31安培/10千瓦版本每相最大电流为35安培
- 8千瓦版本的额定功率为28安培/每相最大31安培
功率精度
+/-5%或+/-200 W，以较大者为准
(在等效等离子体阻抗1.2欧姆时测量)电效率
>满额定功率和标称线路时80%
功率因数
> 0.90
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，通过世界一流的支持，最大限度地提高工厂生产效率和资本设备投资回报率。我们的服务产品基于三十多年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加速工具安装和工艺开发计划，或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188bet在线从现场审查、分析和咨询中获益。
保证书
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。188bet在线Advanced Energy提供全箱延长保修期。
比较产品
模型
Xstream 8千瓦
Xstream 10千瓦
点火装置
0.1到4.0 Torr， < 1 slm Ar
0.1到4.0 Torr， < 1 slm Ar
活动
0.5至12.0 Torr，最高可达6 slm NF3.
0.5至15.0 Torr，最高可达8 slm NF3.
离解
≥98%
≥98%
室
专有的铝合金
专有的铝合金
o型环
Chemraz®
Chemraz®